| Τόπος καταγωγής: | Κίνα |
|---|---|
| Μάρκα: | BAXIT |
| Πιστοποίηση: | CE |
| Αριθμό μοντέλου: | Bxt-MPCVD |
| Ποσότητα παραγγελίας min: | 1 (ελάχιστη διαταγή) |
| Τιμή: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| Χρόνος παράδοσης: | 5-8WORK ΗΜΈΡΕΣ |
| Όροι πληρωμής: | L/C, T/T, D/A, D/P |
| Δυνατότητα προσφοράς: | 5 |
| Λειτουργούσα συχνότητα: | 2450MHz | Δύναμη παραγωγής: | 0,1 ~ 6 KW συνεχώς διευθετήσιμα |
|---|---|---|---|
| Σταθερότητα δύναμης: | καλύτερα από ±1% (@ εκτιμημένη θέση) | Διεπαφή κυματοδηγού παραγωγής: | BJ-26/22 με την fd-26/22 τυποποιημένη φλάντζα |
| Εισαγωγή δύναμης: | 380VAC/50Hz, 3 φάση 5 καλώδιο, 11kW | Ροή του νερού ψύξης: | 18L/min |
| Μόνιμος συντελεστής κυμάτων συστημάτων: | VSWR ≤ 1,5 | Διαρροή μικροκυμάτων: | ανταποκριθείτε στα εθνικά πρότυπα |
| Τρόπος μεγέθους και εργασίας: | Φ200 Χ τρόπος 300 (η) TM |
| Γεννήτρια και σύστημα μικροκυμάτων | Λειτουργούσα συχνότητα | 2450MHz |
| Δύναμη παραγωγής | 0,1 ~ 6 KW συνεχώς διευθετήσιμα | |
| Σταθερότητα δύναμης | καλύτερα από ±1% (@ εκτιμημένη θέση) | |
| Διεπαφή κυματοδηγού παραγωγής | BJ-26/22 με την fd-26/22 τυποποιημένη φλάντζα | |
| Εισαγωγή δύναμης | 380VAC/50Hz, 3 φάση 5 καλώδιο, 11kW | |
| Ροή του νερού ψύξης | 18L/min | |
| Μόνιμος συντελεστής κυμάτων συστημάτων | VSWR ≤ 1,5 | |
| Διαρροή μικροκυμάτων | ανταποκριθείτε στα εθνικά πρότυπα | |
| Κενό αποχωρητήριο μικροκυμάτων | Τρόπος μεγέθους και εργασίας | Φ200 Χ τρόπος 300 (η) TM |
| Αποτελεσματική περιοχή απόθεσης | Φ50mm | |
| Σειρά ελέγχου πίεσης | 0.5KPa~30KPa | |
| Ακρίβεια ελέγχου πίεσης | ±15Pa | |
| Κενή απόκτηση | Αύξηση ενιαίου κρυστάλλου | ρυθμός ανάπτυξης 10-15μm/H, ενιαίο πάχος ≥ 1.6mm αύξησης |
| Ποιότητα ενιαίου κρυστάλλου | σχεδόν καμία ατέλεια κάτω από το γυμνό μάτι | |
| Κενό σύστημα | Τρόπος εκρήξεων | γεμίστε με το Ν2 |
| Τελευταίος κενός βαθμός | καλύτερο than8×10-4Pa | |
| Κενό ποσοστό διαρροής | ≤10-9pA.m3/s | |
| Άνοδος πίεσης | η μέση άνοδος πίεσης 24 ωρών είναι λιγότερο than1Pa/H |
| Σύστημα μαζικής ροής αερίου | Ακρίβεια | 2%-100%F.S., inletpressureis0.2-0.3Mpa |
| Τύπος και σειρά αερίου | H2 (1SLM), CH4 (100SCCM), Ο2 (10SCCM), Ν2 (20SCCM) | |
| Σκηνικό σύστημα δειγμάτων | Σκηνική διάμετρος δειγμάτων | Φ60mm, water-cooled |
| Σειρά ρύθμισης του δείγματος πίνακας |
0~15mm | |
| Σειρά ρύθμισης πιάτων κοιλοτήτων | 0~60mm | |
| Μέτρηση θερμοκρασίας υποστρωμάτων | υπέρυθρη μέτρηση θερμοκρασίας σειρά |
600~1200℃ (υπέρυθρη μέτρηση θερμοκρασίας) |
| Ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας | έλεγχος precision±5℃ θερμοκρασίας | |
| Σειρά ελέγχου της σταθερής περιοχής θερμοκρασίας | διαφορά θερμοκρασίας κάθε σημείου του μολυβδαίνιου platform≤30℃ | |
| Διεπαφή συσκευών | Νερό κολπίσκων και εξόδου | G1 " εξωτερικό καλώδιο |
| Σύνδεση αερίου | 1/4 " εξωτερικό καλώδιο VCR | |
| Διεπαφή απαλλαγής εξάτμισης | 3/4 " εξωτερικό καλώδιο | |
| Ηλεκτροφόρο καλώδιο | TB4506 | |
| Αντίσταση μόνωσης | ≥5MΩ | |
| Αξιοπιστία | ο συνεχής και σταθερός χρόνος απασχόλησης υπό τους κανονικούς όρους δεν θα είναι λιγότερο από 24H | |
| Συνολική παροχή ηλεκτρικού ρεύματος | 380VAC±5%/50Hz, 3phase5wire, 13kW | |
| Συνολικό δροσίζοντας νερό | 34L/min, καθαρό μαλακό νερό, θερμοκρασία ύδατος κολπίσκων είναι 20℃±5℃ Η πίεση νερού είναι 0.2~0.4MPa | |
| Διαστάσεις | ~1.95 (L) x0.8 (W) x1.90 (Χ) μ | |
